外媒报导指出，中国已成功生产EUV（极紫外光刻机）原型机，其中关键人物之一，是前ASML研究部华籍员工林楠。除林楠外，前英伟达员工张建中、前超威员工陈维良也同样是中国人，并在离职后分别创立被称为「中国版英伟达」的摩尔线程，以及「中国版超威」的沐曦公司，让外界关注中国在半导体领域的人才布局与战术。
揭开中国芯片突围战法
林楠曾任职于ASML研究部，后于2021年返国后加入上海光机所，短短18个月内便申请8项与EUV相关的技术专利，2025年10月，他离开上海光机所，转往北京航空航天大学集成电路科学与工程学院任教，目前正主导EUV光源研发的核心计划。外媒分析认为，林楠凭借过往在ASML累积的经验与技术，协助中国团队强化光刻机基础能力，并透过自主研发与专利布局，为中国在EUV光刻领域的长期发展奠定基础。
张建中曾任英伟达全球副总裁、前中国区总经理，在英伟达服务长达15年，并被视为英伟达执行长黄仁勋高度倚重的人才之一。然而，他选择放弃美国优渥的薪资与稳定生活，回到中国投入本土半导体发展，2020年10月，张建中创立摩尔线程，专注于GPU与AI加速芯片研发，成为近年中国半导体产业中备受关注的新创公司。
陈维良的发展轨迹则与张建中相当相似。他在超威任职长达14年，曾担任高阶主管，却辞职于2020年9月创立沐曦公司，转而投入全端GPU与运算平台的研发。沐曦目前已成为中国少数能实现千卡丛集大规模商业化应用的GPU供应商之一。
外媒分析认为，林楠运用自身经验和知识，协助中国团队提升光刻机基础技术，而非直接复制ASML技术，他透过自主研发和专利布局，为中国在EUV光刻领域的长期发展奠定基础。
目前中国只是进入了原型机的环节，再从技术上来看，光源发射器仅是EUV光刻的第一步，若没有蔡司这样的精密成像系统，即使掌握了光源，也无法正常驱动光刻机。
EUV设备是由超过10万个零件组成，涵盖全球超过5000家供应商，并需要成百上千名专业工程师进行调试与维护，可见其生态系统的庞大与复杂，必须依赖完整产业链协同发展。
